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发明名称 FORMATION OF THIN COMPOUND FILM
摘要
申请公布号 JPS6431959(A) 申请公布日期 1989.02.02
申请号 JP19870187261 申请日期 1987.07.27
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 HIRUKAWA YOUICHI;DOBASHI MACHIO
分类号 C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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