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发明名称 REACTOR FOR CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6432637(A) 申请公布日期 1989.02.02
申请号 JP19870189637 申请日期 1987.07.28
申请人 SAMUKO INTERNATL KENKYUSHO:KK 发明人 SHIMA HIDEAKI;TATSUTA TOSHIAKI;TSUJI OSAMU
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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