| 发明名称 |
CATHODE/GROUND SHIELD ARRANGEMENT IN A TARGET FOR A SPUTTER COATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0207801(A3) |
申请公布日期 |
1989.02.01 |
| 申请号 |
EP19860305184 |
申请日期 |
1986.07.03 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION |
发明人 |
GLASSER, ALBERT DANIEL |
| 分类号 |
C23C14/34;G21C21/02;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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