发明名称 PROCESS METHODOLOGY FOR TWO-SIDED FABRICATION OF DEVICES ON THINNED SILICON
摘要
申请公布号 IL87414(D0) 申请公布日期 1989.01.31
申请号 IL19880087414 申请日期 1988.08.11
申请人 SANTA BARBARA RESEARCH CENTER 发明人
分类号 H01L;H01L21/306;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
地址
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