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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM DEFLECTING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6427150(A)
申请公布日期
1989.01.30
申请号
JP19870183854
申请日期
1987.07.23
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MIYAGI SHINJI
分类号
H01L21/66;H01J37/147;H01J37/305
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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