发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT D'UN OBJET DANS UNE ATMOSPHERE DE HAUTE PROPRETE ET CONTENEUR POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE
摘要
申请公布号 FR2607406(B1) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 FR19860016653 申请日期 1986.11.28
申请人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE 发明人 JEAN-PIERRE LAZZARI;HENRI CORTIAL
分类号 B65G51/02;B65G1/00;B65G1/02;B65G49/00;B65G49/07;F24F3/16;F24F7/06;H01L21/677;(IPC1-7):B01L1/04;B25J21/00;B08B15/00 主分类号 B65G51/02
代理机构 代理人
主权项
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