发明名称 |
PROCEDE DE TRAITEMENT D'UN OBJET DANS UNE ATMOSPHERE DE HAUTE PROPRETE ET CONTENEUR POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2607406(B1) |
申请公布日期 |
1989.01.27 |
申请号 |
FR19860016653 |
申请日期 |
1986.11.28 |
申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
JEAN-PIERRE LAZZARI;HENRI CORTIAL |
分类号 |
B65G51/02;B65G1/00;B65G1/02;B65G49/00;B65G49/07;F24F3/16;F24F7/06;H01L21/677;(IPC1-7):B01L1/04;B25J21/00;B08B15/00 |
主分类号 |
B65G51/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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