发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6425525(A) 申请公布日期 1989.01.27
申请号 JP19870182570 申请日期 1987.07.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HOSHINA JUNICHI;BAN YUZABURO;OGURA MOTOTSUGU
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L29/78 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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