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发明名称
SEMICONDUCTOR GROWTH EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPS6423523(A)
申请公布日期
1989.01.26
申请号
JP19870179049
申请日期
1987.07.20
申请人
NEC CORP
发明人
OKAMOTO AKIHIKO
分类号
H01L21/203;H01L21/26
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
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