发明名称
摘要
申请公布号 JPS644666(B2) 申请公布日期 1989.01.26
申请号 JP19820501423 申请日期 1982.03.22
申请人 MOTOROLA INC 发明人 REIN RICHAADO EICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/033;H01L21/74;H01L21/762;H01L23/544;H01L29/06 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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