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摘要
申请公布号
JPS644666(B2)
申请公布日期
1989.01.26
申请号
JP19820501423
申请日期
1982.03.22
申请人
MOTOROLA INC
发明人
REIN RICHAADO EICHI
分类号
H01L21/76;H01L21/033;H01L21/74;H01L21/762;H01L23/544;H01L29/06
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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