VACUUM TREATMENT EQUIPMENT,申请号JP19870180388-传众专利搜索

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发明名称	VACUUM TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPS6424427(A)	申请公布日期	1989.01.26
申请号	JP19870180388	申请日期	1987.07.20
申请人	TOKUDA SEISAKUSHO LTD	发明人	BABA SHIGERU
分类号	H01L21/302;C23C14/22;C23C14/50;C23C14/54;H01J37/18;H01J37/305;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
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