发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6423550(A) |
申请公布日期 |
1989.01.26 |
申请号 |
JP19870178906 |
申请日期 |
1987.07.20 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OGURA SADAO;YAMAZAKI KOICHI;KOWASE YASUAKI;SUDO YOSHIAKI |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/82;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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