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发明名称 SPRAYER FOR FORMING CUINSE2 THIN-FILM
摘要
申请公布号 JPS6422034(A) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 JP19870178240 申请日期 1987.07.17
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ICHIMURA TAKESHIGE;YAMAZAKI TAKAHIRO
分类号 H01L21/368 主分类号 H01L21/368
代理机构 代理人
主权项
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