发明名称 SEALED CAVITY SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCERS AND METHOD.
摘要
申请公布号 EP0219543(A4) 申请公布日期 1989.01.24
申请号 EP19860903022 申请日期 1986.04.24
申请人 WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION 发明人 GUCKEL, HENRY;BURNS, DAVID, W.
分类号 H01L29/84;G01L9/00;(IPC1-7):H01L21/306;B05D7/22;G01L1/22;H01L41/08 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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