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发明名称
SEALED CAVITY SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCERS AND METHOD.
摘要
申请公布号
EP0219543(A4)
申请公布日期
1989.01.24
申请号
EP19860903022
申请日期
1986.04.24
申请人
WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION
发明人
GUCKEL, HENRY;BURNS, DAVID, W.
分类号
H01L29/84;G01L9/00;(IPC1-7):H01L21/306;B05D7/22;G01L1/22;H01L41/08
主分类号
H01L29/84
代理机构
代理人
主权项
地址
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