| 发明名称 |
Removal of arsine and phosphine from silane. |
| 摘要 |
<p>A metalated macroreticulate polymer having a plurality of pendant functional groups is used to remove arsine and phosphine impurities from silane gas.</p> |
| 申请公布号 |
EP0299488(A2) |
申请公布日期 |
1989.01.18 |
| 申请号 |
EP19880111346 |
申请日期 |
1988.07.14 |
| 申请人 |
HERCULES INCORPORATED |
发明人 |
TOM, GLENN MCPHERSON |
| 分类号 |
C01B33/04;(IPC1-7):C01B33/04 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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