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发明名称 Etching method and etching plate
摘要
申请公布号 US2829460(A) 申请公布日期 1958.04.08
申请号 US19530399698 申请日期 1953.12.22
申请人 GOLAY MARCEL J E 发明人 GOLAY MARCEL J. E.
分类号 C23F1/02;C23F1/04;H01L21/308 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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