发明名称 PLASMA THIN FILM DEPOSITION PROCESS CONTROL
摘要
申请公布号 IE882040(L) 申请公布日期 1989.01.15
申请号 IE19880002040 申请日期 1988.07.05
申请人 KENJI WATANABE, 发明人
分类号 C23C14/22;C23C14/34;C23C16/44;C23C16/52;G01N21/25;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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