发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6410620(A) 申请公布日期 1989.01.13
申请号 JP19870166316 申请日期 1987.07.02
申请人 NEC CORP 发明人 KANBA KOJI
分类号 H01L21/205;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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