发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6410630(A) 申请公布日期 1989.01.13
申请号 JP19870165479 申请日期 1987.07.03
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NITTAMI KENJI;MATSUI TAKAYUKI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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