发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS648622(A) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 JP19870164309 申请日期 1987.06.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUOKA TAKASHI
分类号 G03F7/20;G03C5/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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