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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS648637(A) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 JP19870162262 申请日期 1987.07.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TOIKAWA SHIGERU
分类号 H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8247;H01L27/04;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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