发明名称 METHOD OF SUBSTRATE'S ACCURATE LEVELLING WITH NON-EVEN DIVERSELY REFLECTING SURFACE AND OPTICAL SYSTEM FOR REALIZATION OF THIS METHOD
摘要
申请公布号 CS261260(B1) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 CS19870003809 申请日期 1987.05.26
申请人 TAX,KAMIL,CS 发明人 TAX,KAMIL,CS
分类号 G01M11/00;G01B11/26;G01N21/47;G02B7/10;G02B27/10;(IPC1-7):G02B27/10 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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