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经营范围
发明名称
RESIST COATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS648621(A)
申请公布日期
1989.01.12
申请号
JP19870163548
申请日期
1987.06.30
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MURAMATSU TOMOAKI;KIKUCHI KENJI
分类号
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
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