| 发明名称 |
PHOTOLITHOGRAPHIC EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS647771(A) |
申请公布日期 |
1989.01.11 |
| 申请号 |
JP19870165231 |
申请日期 |
1987.07.03 |
| 申请人 |
YAMATOYA SHOKAI:KK |
发明人 |
NUMAKURA TAKASHI;NUMAKURA IWAO;KITAZAWA SUSUMU |
| 分类号 |
G03F5/00;G06T5/00;H04N1/40;H04N1/405 |
主分类号 |
G03F5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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