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发明名称 LASER BEAM HOMOGENIZER
摘要
申请公布号 EP0230931(A3) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 EP19870100538 申请日期 1987.01.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 FAN, BUNSEN;TIBBETTS, RAYMOND EUGENE;WILCZYNSKI, JANUSZ STANISLAW;WHITMAN, DAVID FRANCIS
分类号 H01S3/101;G02B5/02;G02B5/08;G02B27/09;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G02B27/00;G02B17/02 主分类号 H01S3/101
代理机构 代理人
主权项
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