发明名称 AN OHMIC CONTACT FOR AN INTERMETALLIC COMPOUND SEMICONDUCTOR AND A METHOD OF PROVIDING SUCH A CONTACT
摘要
申请公布号 EP0164720(B1) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 EP19850107128 申请日期 1985.06.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JACKSON, THOMAS NELSON;KIRCHNER, PETER DANIEL;PETTIT, GEORGE DAVID;WOODALL, JERRY MACPHERSON
分类号 H01L29/41;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/43;H01L29/45;(IPC1-7):H01L29/40 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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