发明名称 METHOD FOR ACCELERATION TEST OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS643576(A) 申请公布日期 1989.01.09
申请号 JP19870159334 申请日期 1987.06.25
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 OSHITA CHIHIRO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址