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发明名称
FREMGANGSMAADE TIL OPRETNING AF FOTOMASKINER, NAVNLIG FOTO-LITOGRAFISKE MASKER PAA FLADE ARBEJDSSTYKKER
摘要
申请公布号
DK373188(A)
申请公布日期
1989.01.07
申请号
DK19880003731
申请日期
1988.07.05
申请人
AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH COMPANY
发明人
HARVEY, GEORGE T.;WATKINS, LAURENCE S.
分类号
G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/30;G03F7/26
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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