VAPOR PHASE REACTOR,申请号JP19870158607-传众专利搜索

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发明名称	VAPOR PHASE REACTOR
摘要
申请公布号	JPS642326(A)	申请公布日期	1989.01.06
申请号	JP19870158607	申请日期	1987.06.25
申请人	HITACHI ELECTRON ENG CO LTD	发明人	SASAKI TAKAHISA
分类号	H01L21/677;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/68	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
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