发明名称 AN ILLUMINATION DEVICE
摘要
申请公布号 EP0266203(A3) 申请公布日期 1988.12.21
申请号 EP19870309574 申请日期 1987.10.29
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MURAKI, MASATO;AKETAGAWA, MASATO;SHIOZAWA, TAKAHISA
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/32;G02B26/10 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址