发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN HALFGELEIDERINRICHTING. |
摘要 |
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申请公布号 |
NL8701184(A) |
申请公布日期 |
1988.12.16 |
申请号 |
NL19870001184 |
申请日期 |
1987.05.18 |
申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
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分类号 |
H01L21/308;C23F1/26;H01L21/3213 |
主分类号 |
H01L21/308 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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