发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR STABILISIERUNG VON FOTOLACKMASKEN AUF HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD262928(A1) 申请公布日期 1988.12.14
申请号 DD19870305882 申请日期 1987.08.11
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "KARL MARX" ERFURT,DD 发明人 VOIGT,REINHARD,DD;HERRMANN,HEIDO,DD;MEYER,ANDREAS,DD;NOACK,RUEDIGER,DD;BECKUS,PETER,DD;SCHMIDT,MATTHIAS,DD;RAUNITSCHKE,BERND,DD;SCHMIDT,BARBARA,DD;GOEBEL,GUNDOLF,DD;FISCH,JOACHIM,DD;BREITBARTH,FRIEDRICH-WILHELM,DD;MAGIERA,KLAUS,DD;VOGEL,OSGIT,DD;TILLER,HANS-JUERGEN,DD
分类号 G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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