| 发明名称 |
Method for removing resist from semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4789427(A) |
申请公布日期 |
1988.12.06 |
| 申请号 |
US19870051396 |
申请日期 |
1987.05.19 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
FUJIMURA, SHUZO;KATO, YOSHIKAZU;MOCHIZUKI, SYOUZI |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):B44C1/22;C03C15/00;C03C25/06 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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