| 摘要 |
Un système d'implantation d'ions comprend une source d'ions (36) produisant un faisceau ionique dirigé horizontalement. Un quadripole (50) façonne le faisceau et des plaques déflectrices dévient le faisceau vers le bas sur des tranches placées sur une roue disposée horizontalement (56). Le faisceau est déplacé radialement par rapport à une roue par un support de plaque déflectrice (52), lequel comporte un aimant d'entraînement (130) commandé par un moteur pas à pas et disposé à l'extérieur d'une enceinte mise sous vide renfermant le faisceau et la roue. Un aimant entraîné (128) placé dans l'enceinte est joint aux plaques déflectrices passant par dessus des supports linéaires. L'aimant d'entraînement entraîne l'aimant entraîné, les plaques déflectrices et le faisceau. Un organe de transport (72) pouvant être placé sous vide est utilisé pour transporter les tranches depuis une cassette dans le transporteur à travers des orifices obturables adjacents (70, 78) de façon à pouvoir placer les tranches sur les plaques de support de tranches se trouvant sur la roue et de façon à pouvoir les retirer desdites plaques. Deux roues tournant indépendamment peuvent être pourvues de régions d'incidence du faisceau, toutes deux accessibles par le haut. |
