发明名称
摘要
申请公布号 JPS63187078(U) 申请公布日期 1988.11.30
申请号 JP19870078984U 申请日期 1987.05.25
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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