发明名称 CAPACITOR CIRCUIT STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS63293968(A) 申请公布日期 1988.11.30
申请号 JP19880059572 申请日期 1988.03.15
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 CHIYAARUZU RIIBEZU HOFUMAN
分类号 H01L27/04;G05F3/24;H01L21/822;H01L27/08;H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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