| 发明名称 |
EVAPORATION METHOD AND APPARATUS ESPECIALLY FOR PLASMA PROTECTION AND ADHESION OF MIXED OR MULTILAYER FILM DUE TO ARC DISCHARGE EVAPORATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63282256(A) |
申请公布日期 |
1988.11.18 |
| 申请号 |
JP19880098442 |
申请日期 |
1988.04.22 |
| 申请人 |
VEB HOCHVAKUUM DRESDEN |
发明人 |
DEIITOMAARU SHIYURUTSUE;RIYUUDEIGERU UIRUBERUKU;FURANKU SHIYURAADE |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/30;C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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