| 发明名称 |
Method of producing a thin film by sputtering and an opposed target type sputtering apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4784739(A) |
申请公布日期 |
1988.11.15 |
| 申请号 |
US19870136866 |
申请日期 |
1987.12.22 |
| 申请人 |
TEIJIN LIMITED |
发明人 |
KADOKURA, SADAO;HONJYO, KAZUHIKO;KUSUHARA, AKIO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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