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发明名称 METHOD OF SELECTIVELY FORMING TUNGSTEN FILM
摘要
申请公布号 JPH02213125(A) 申请公布日期 1990.08.24
申请号 JP19890034782 申请日期 1989.02.13
申请人 SONY CORP 发明人 KIYOTA HISAHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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