| 发明名称 |
Protective coating of the SiCxNyOzHt-type obtained by plasma treatment. |
| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un revêtement protecteur, un procédé de protection de substrat par dépôt d'un film inorganique amorphe continu et transparent comportant essentiellement du silicium, du carbone, de l'azote, de l'oxygène et de l'hydrogène à l'aide d'un plasma.</p><p>Elle concerne également un dispositif pour sa mise en oeuvre comportant une enceinte étanche (3) munie de moyens d'injection de gaz (1, 2), de moyens pour créer un plasma (4, 5), de moyens pour évacuer les gaz et d'un support pour substrat. </p> |
| 申请公布号 |
EP0289402(A1) |
申请公布日期 |
1988.11.02 |
| 申请号 |
EP19880400974 |
申请日期 |
1988.04.21 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
BONET, CLAUDE;COEURET, FRANCOIS;NOWAK, SYLVIE;GAUTHIER, JEAN-MARIE |
| 分类号 |
B28B11/04;B05D1/02;B05D1/06;C08J7/00;C08J7/04;C08J7/06;C09D1/00;C09D4/00;C23C14/06;C23C16/00;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/511;H01L21/318 |
主分类号 |
B28B11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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