发明名称 VERFAHREN ZUR MONTAGE VON SI-HALBLEITERCHIPS
摘要
申请公布号 DD261671(A1) 申请公布日期 1988.11.02
申请号 DD19870303397 申请日期 1987.06.01
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "ANNA SEGHERS" NEUHAUS,DD 发明人 GUTJAHR,UWE,DD;DOBERSCHUETZ,FRANK-MICHAEL,DD;HOFMANN,HORST,DD
分类号 H01L21/44;(IPC1-7):H01L21/44 主分类号 H01L21/44
代理机构 代理人
主权项
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