发明名称 Formation of thin-film resistors on silicon substrates
摘要
申请公布号 USH546(H) 申请公布日期 1988.11.01
申请号 US19880160893 申请日期 1988.02.26
申请人 发明人
分类号 H01C17/075;H01L21/02 主分类号 H01C17/075
代理机构 代理人
主权项
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