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发明名称
APPARECCHIO PER IL RILEVAMENTO E IL CENTRAGGIO DI UNA FETTA DI SILICIO.
摘要
申请公布号
IT8822443(D0)
申请公布日期
1988.10.27
申请号
IT19880022443
申请日期
1988.10.27
申请人
MITSUBISHI KINZOKU KABUSHIKI KAISHA
发明人
TATSUMI MATSUMOTO
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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