发明名称 A PROCESS FOR THE PROTECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 GB2165093(B) 申请公布日期 1988.10.26
申请号 GB19850024230 申请日期 1985.10.02
申请人 * SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 MOTOTAKA * TANEYA;SADAYOSHI * MATSUI;MITSUHIRO * MATSUMOTO;HIROSHI * HAYASHI
分类号 H01L21/20;H01L21/208;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/208;C30B19/12;H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址