发明名称
摘要
申请公布号 JPS6351494(B2) 申请公布日期 1988.10.14
申请号 JP19820066454 申请日期 1982.04.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO 发明人 TAMURA TAKU;IKEDA MASAMI;YAMAZAKI YOICHI
分类号 G01J5/02;G01J5/34;H01L31/0264;H01L37/02 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
主权项
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