发明名称 DISPOSITIF DE SUPPRESSION DES MICRO-PROJECTIONS DANS UNE SOURCE D'IONS A ARC SOUS VIDE
摘要 <P>DISPOSITIF DE SUPPRESSION DES PROJECTIONS DE MICRO-GOUTTELETTES DE MATIERE EMISES PAR UNE SOURCE D'IONS A ARC SOUS VIDE COMPORTANT UNE CATHODE 2 EMISSIVE D'UN PLASMA 1, ET UNE ANODE 3 CONVENABLEMENT POLARISEES, ET DANS LEQUEL L'ELIMINATION DES MICRO-PROJECTIONS EST EFFECTUEE PAR DES MOYENS DE RECUPERATION CONSTITUES PAR DES RECEPTACLES 7, 10 POLARISES OU NON, OU PAR DES MOYENS DE SEPARATION DES MICRO-GOUTTELETTES DU PLASMA 12A, 12B, LA COMBINAISON DE CES MOYENS ASSURANT UNE ELIMINATION TOTALE DES MICRO-PROJECTIONS.</P><P>APPLICATION AUX IMPLANTEURS D'IONS.</P>
申请公布号 FR2613897(A1) 申请公布日期 1988.10.14
申请号 FR19870005120 申请日期 1987.04.10
申请人 ETUDES REALISATIONS NUCLEAIRES 发明人 HENRI BERNARDET
分类号 H05H1/00;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H05H1/34 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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