| 摘要 |
<p>Ce capteur comporte une source de lumière (14) émettant un faisceau principal monochromatique (20), une lentille de collimation (18) du faisceau principal, une lame séparatrice (22) pour former un faisceau de mesure (24) et un faisceau de référence (26), un déphaseur (28) pour introduire un déphasage deπ/2 sur une partie du faisceau de référence pour former deux faisceaux de référence, un premier miroir (32) solidaire du mobile (34) et un second miroir (30) servant respectivement à renvoyer le faisceau de mesure et les deux faisceaux de référence sur la lame séparatrice afin de former deux signaux d'interférence, un miroir séparateur (36) pour séparer ces deux signaux d'interférence et deux détecteurs (42, 44) pour détecter respectivement ces deux signaux d'interférence. Le capteur est formé dans un guide optique (2) en SiO2/Si3N4/SiO2, la lentille, la lame, le déphaseur étant formés par gravure locale de la couche superficille (10) du guide, le second miroir et le miroir séparateur étant formés par gravure totale du guide.</p> |
