PLASMA GENERATOR UTILIZING ELECTRON RESONANCE,申请号JP19870076054-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA GENERATOR UTILIZING ELECTRON RESONANCE
摘要
申请公布号	JPS63244600(A)	申请公布日期	1988.10.12
申请号	JP19870076054	申请日期	1987.03.31
申请人	OTA AKIRA	发明人	OTA AKIRA
分类号	H01L21/302;H01J27/08;H01L21/3065;H05H1/18	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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