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发明名称 POLYIMIDE STUD TRANSFER PROCESS
摘要
申请公布号 EP0266522(A3) 申请公布日期 1988.10.05
申请号 EP19870113463 申请日期 1987.09.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHALOUX, PAUL NORMAND, JR.;HOUGHTON, THOMAS FREDERICK
分类号 H01L21/3213;H01L21/285;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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