发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPS6320873(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860164931 申请日期 1986.07.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 TSUDA NAOYUKI
分类号 H01L29/84;G01L9/00;G01L9/04 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
地址