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发明名称 MOVING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPS63238493(A) 申请公布日期 1988.10.04
申请号 JP19870071389 申请日期 1987.03.27
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;KOBE STEEL LTD 发明人 TOKUMOTO HIROSHI;BANDO HIROSHI;SUZUKI AKIO;KAWASHIMA SADAO;MIZUGUCHI OSAMU
分类号 G05D3/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/10;G12B5/00;H01J37/28;H01L41/08;H01L41/09 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
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